誘導MOCVDリアクターヒーター

誘導加熱金属有機化学気相成長 (MOCVD) リアクターは、加熱効率を向上させ、ガス入口との有害な磁気結合を軽減することを目的とした技術です。従来の誘導加熱 MOCVD リアクターでは、多くの場合、誘導コイルがチャンバーの外側に配置されているため、加熱効率が低下し、ガス供給システムと磁気干渉が発生する可能性があります。最近の … 続きを読む