誘導加熱プラズマについて
プラズマは、結合していない正および負の粒子からなる電気的に中性の媒体として特徴付けられ、全体的な電荷はほぼゼロです。 ガスのように、プラズマは容器に封入されていなければ明確な形状を持たない。 プラズマを生成するために、原子核の周りの軌道から電子を除去することを目的として、気体に電界を印加します。 これはイオンと自由流動性の電子の混合物を作り出し、それはその電気伝導率、磁場、そして外部電磁場に対する感度を含むプラズマの重要な特性を与える。
プラズマを生成し維持するための重要な要件は、継続的なエネルギー入力である。 誘導は、プラズマ生成のためにその連続エネルギー入力を提供するための理想的な手段です。 プラズマの典型的な工業用途には次のものがあります。
- プラズマ溶接
- 金属切削
- 表面処理(プラズマ溶射)
- マイクロエレクトロニクスのエッチング